近日，晶盛机电子公司慧翔电液半导体级直拉单晶超导磁场研发取得新突破——12英寸干式横向超导磁场首次突破5000Gs，这标志着慧翔电液成为国内首家能稳定量产5000Gs的MCZ超导磁体企业。

12英寸无液氦横向磁场

晶盛机电控股子公司慧翔电液，自2016年起便专注于磁性流体密封技术、半导体单晶炉用超导磁体系统、尾气处理装置等研发销售，技术和规模行业领先，是国家级专精特新“小巨人”企业。此次慧翔电液12英寸干式横向超导磁场突破5000Gs，打破了国内稳定量产中心磁场5000Gs的MCZ超导磁体企业为零的局面，奠定行业领先地位。

当前，国际上MCZ超导磁体制造企业以3000Gs-4500Gs为常规产品，实现更强磁场是行业重要突破方向。而在直径1600mm以上室温空间，产生高达5000Gs磁场，需要克服强大的电磁力并满足无液氦的运行条件，对超导磁体设计、制造工艺等诸多方面都是巨大挑战。本次慧翔电液自主研发的半导体级干式超导磁体中心磁场突破5000Gs，是多年来的技术沉淀与不懈创新的重大成果，意味着慧翔电液已具备与国际技术同步的超导磁体定制研发能力。

一直以来，晶盛机电始终聚力攻坚行业“卡脖子”技术难点，本次“5000Gs”的超导磁体到来，将极大地改善设备拉晶效果，为高端半导体拉晶工艺奠定基础，满足半导体行业直拉硅单晶工艺的差异化需求，助力客户创造更大效益。

未来，晶盛机电将继续秉承“先进材料、先进装备”的发展战略，抢占关键技术制高点，服务国家战略安全，敢为人先，敢于突破，展现国产制造企业的责任担当，为促进我国半导体产业高质量发展贡献更大力量。

责任编辑：TYN